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Ablaufoptimierung in einer Halbleiterfertigung

Potenzialanalyse am Fallbeispiel einer Nassätzbank
  • Jan Schneidewind

    Jan Schneidewind, geb. 1996, schloss 2019 sein Bachelorstudium im Maschinenbau mit der Vertiefung Energietechnik an der Technischen Hochschule Nürnberg ab. Im Jahr 2021 legte er seinen Masterabschluss im Studiengang Industrial Engineering an der Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg ab, wo er seitdem als Wissenschaftlicher Mitarbeiter arbeitet. Er ist zuständig für die Planung von Produktion und Logistik einer Serienfertigung von Wasserstoff Elektrolyse-Stacks im Projekt H2Giga des Bundesministeriums für Bildung und Forschung. Sein Forschungsschwerpunkt ist die Fertigungslayoutplanung im Kontext schnell wachsender Unternehmen.

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    and Björn Lorenz

    Prof. Dr.-Ing. Björn Lorenz, geb. 1969, schloss 1994 sein Maschinenbaustudium mit der Fachrichtung Produktionstechnik an der Universität Hannover ab. Nach dem Studium arbeitete er von 1994 bis 1999 als Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Fabrikanlagen (IFA) der Universität Hannover. Die Promotion erfolgte 1999. Von 1999 bis 2002 war er in der Kapazitätsplanung bei der Firma Infineon Technologies tätig. Bei der BMW AG in München arbeitete er von 2002 bis 2008 im Bereich der Produktionsplanung. Seit 2008 ist Professor Björn Lorenz an der OTH Regensburg mit dem Fachgebiet Produktionsmanagement tätig.

Published/Copyright: September 23, 2022

Abstract

Bei der Ablaufplanung automatisierter Anlagen wird häufig ein regelbasiertes, iteratives Verfahren angewandt. In dieser Studie wird am Beispiel einer Nassbank aus der Halbleiterindustrie gezeigt, welches Potenzial dadurch verloren geht und wie die Ablaufplanung optimiert werden kann. Des Weiteren wird untersucht, wie sich durch Anpassungen am Aufbau der Anlage die durchschnittliche Durchlaufzeit noch weiter reduzieren lässt.

Abstract

A rule-based, iterative approach is often used for the scheduling of automated plants. In this study, a wet bench from the semiconductor industry is used to show the potential that is lost as a result and how the scheduling can be optimized. Furthermore, it is investigated how adjustments to the plant design can further reduce the average cycle time.


Hinweis

Bei diesem Beitrag handelt es sich um einen von den Mitgliedern des ZWF-Advisory Board wissenschaftlich begutachteten Fachaufsatz (Peer-Review).



Tel.: +49 (0) 941 9439407

About the authors

Jan Schneidewind

Jan Schneidewind, geb. 1996, schloss 2019 sein Bachelorstudium im Maschinenbau mit der Vertiefung Energietechnik an der Technischen Hochschule Nürnberg ab. Im Jahr 2021 legte er seinen Masterabschluss im Studiengang Industrial Engineering an der Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg ab, wo er seitdem als Wissenschaftlicher Mitarbeiter arbeitet. Er ist zuständig für die Planung von Produktion und Logistik einer Serienfertigung von Wasserstoff Elektrolyse-Stacks im Projekt H2Giga des Bundesministeriums für Bildung und Forschung. Sein Forschungsschwerpunkt ist die Fertigungslayoutplanung im Kontext schnell wachsender Unternehmen.

Prof. Dr.-Ing. Björn Lorenz

Prof. Dr.-Ing. Björn Lorenz, geb. 1969, schloss 1994 sein Maschinenbaustudium mit der Fachrichtung Produktionstechnik an der Universität Hannover ab. Nach dem Studium arbeitete er von 1994 bis 1999 als Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Fabrikanlagen (IFA) der Universität Hannover. Die Promotion erfolgte 1999. Von 1999 bis 2002 war er in der Kapazitätsplanung bei der Firma Infineon Technologies tätig. Bei der BMW AG in München arbeitete er von 2002 bis 2008 im Bereich der Produktionsplanung. Seit 2008 ist Professor Björn Lorenz an der OTH Regensburg mit dem Fachgebiet Produktionsmanagement tätig.

Literatur

1 Brucker, P.; Knut, S.: Complex Scheduling. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 201210.1007/978-3-642-23929-8Search in Google Scholar

2 Graham, R. L.; Lawler, E. L.; Lenstra, J. K.; Rinnooy Kan, A. H. G.: Optimization and Approximation in Deterministic Sequencing and Scheduling: A Survey. In: Hammer, P. L.; Johnson, E. L.; Korte, B. H.; Nemhauser, G. L.: Annals of Discrete Mathematics 5. North-Holland Publishing Company, Amsterdam, New York, Oxford 1979, S. 287—326 DOI: 10.1016/S0167-5060(08)70356-X10.1016/S0167-5060(08)70356-XSearch in Google Scholar

Published Online: 2022-09-23
Published in Print: 2022-09-30

© 2022 Walter de Gruyter GmbH, Berlin/Boston

Downloaded on 22.9.2025 from https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1515/zwf-2022-1115/html?lang=en
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