Aufbau und Betrieb eines Infrarot-Mikrospektrometers auf der Basis eines MEMS-FP-Filters
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Martin Ebermann
Zusammenfassung
In der IR-Absorptionsspektroskopie gibt es ein großes Potenzial für Mikrospektrometer z. B. für die Mehrkomponentenanalyse in der Gasmesstechnik. Es wird ein Mikrospektrometer für den Spektralbereich 3–5 μm vorgestellt, welches auf einem pyroelektrischen Detektor und einem MEMS-Fabry-Pérot-Filter (FPF) basiert. Die Gestaltung des optischen Systems hat großen Einfluss auf das spektrale Auflösungsvermögen und den Signal-Rausch-Abstand des FP-Spektrometers.
Abstract
There is a large potential in the field of infrared absorption spectroscopy, particularly if multicomponent mixtures have to be analyzed. A microspectrometer for the spectral range 3–5 μm is presented, which is based on a pyroelectric detector with an integrated MEMS Fabry-Pérot filter. The influence of different optical set-ups on the spectral resolution and the signal-to-noise ratio are discussed.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Dresden, Germany
Artikel in diesem Heft
- OPTO- und Infrarot-Konferenzen 2009 im Rahmen der SENSOR+TEST im Mai 2009 in Nürnberg
- Aufbau und Betrieb eines Infrarot-Mikrospektrometers auf der Basis eines MEMS-FP-Filters
- Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3
- FBG-Sensor-Interrogator mit Time-of-Flight- und Peak-Tracking-Algorithmen
- 3D-Terahertz-Bildgebung für die zerstörungsfreie Materialprüfung
- Spurengasdetektion mittels Laserionenmobilitätsspektrometrie
- Optischer inkrementaler Drehgeber in Low-Cost-Bauweise
- Produktmeldungen
- Veranstaltungskalender Juni 2010 bis November 2010
Artikel in diesem Heft
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