Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3
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Marco Schossig
Zusammenfassung
Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO3) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO3-Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität D* von über 5×109 cm Hz1/2W-1 erreichen.
Abstract
In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO3) allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO3 layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity D* of more than 5×109 cm Hz1/2 W-1.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Dresden, Germany
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