Aufbau und Betrieb eines Infrarot-Mikrospektrometers auf der Basis eines MEMS-FP-Filters
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Martin Ebermann
Zusammenfassung
In der IR-Absorptionsspektroskopie gibt es ein großes Potenzial für Mikrospektrometer z. B. für die Mehrkomponentenanalyse in der Gasmesstechnik. Es wird ein Mikrospektrometer für den Spektralbereich 3–5 μm vorgestellt, welches auf einem pyroelektrischen Detektor und einem MEMS-Fabry-Pérot-Filter (FPF) basiert. Die Gestaltung des optischen Systems hat großen Einfluss auf das spektrale Auflösungsvermögen und den Signal-Rausch-Abstand des FP-Spektrometers.
Abstract
There is a large potential in the field of infrared absorption spectroscopy, particularly if multicomponent mixtures have to be analyzed. A microspectrometer for the spectral range 3–5 μm is presented, which is based on a pyroelectric detector with an integrated MEMS Fabry-Pérot filter. The influence of different optical set-ups on the spectral resolution and the signal-to-noise ratio are discussed.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Dresden, Germany
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