Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)
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Gerd Jäger
Der vorliegende Beitrag beschreibt neue Anwendungen der Nanomessmaschine des Institutes für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau. Die neuen Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnik resultieren aus der Entwicklung von nanoskaligen Tastsensoren, die in der Nanomessmaschine nur als Nullindikatoren eingesetzt werden. Entwickelt und erprobt wurden: Fokussensor mit 10 mm Arbeitsabstand, Weißlichtinterferenzsensor, taktiler Tastschnittsensor und Rastersondenmikroskop mit Fokussensor. Gegenwärtig wird ein taktiler 3D-Taster der Fa. IBS Precision Engineering in die Nanomessmaschine eingebunden.
This article presents new applications of the nanomeasuring machine developed by the Institute of Process Measurement and Sensor Technology at the Technische Universität Ilmenau. The new applications to micro- and nanotechnology are based on the development of nanoscale optical and tactile probes used for zero-point indication only. We have realized and tested the following probes: a focal point sensor with a working distance of 10 mm, a white-light interference sensor, a tactile contour sensor and an AFM based on focusprobe. The present work concerns the integration of a tactile 3D-microtouch probe by IBS Netherland into the nanomeasuring machine.
Literatur
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© Oldenbourg Wissenschaftsverlag
Artikel in diesem Heft
- Nanomess- und Nanopositioniertechnik
- Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)
- Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)
- Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine (Linking up Various Detection Systems for Dimensional Measurements in the Micro- and Nanorange with the Nanomeasuring Machine)
- Raster-Sonden-Mikroskopie mit Cantilever-Arrays (Scanning Probe Microscopy with Cantilever Arrays)
- Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche (Nanopositioning over Large Travel Ranges)
- Materials, Bearings, and Lubricants for Nanopositioning (Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung)
- Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)
- Literatur: Multiimage 3-D-Messsysteme sicher überwachen und rückführen
- Produktinformationen
- Veranstaltungen September 2006 bis November 2006
Artikel in diesem Heft
- Nanomess- und Nanopositioniertechnik
- Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)
- Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)
- Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine (Linking up Various Detection Systems for Dimensional Measurements in the Micro- and Nanorange with the Nanomeasuring Machine)
- Raster-Sonden-Mikroskopie mit Cantilever-Arrays (Scanning Probe Microscopy with Cantilever Arrays)
- Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche (Nanopositioning over Large Travel Ranges)
- Materials, Bearings, and Lubricants for Nanopositioning (Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung)
- Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)
- Literatur: Multiimage 3-D-Messsysteme sicher überwachen und rückführen
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