Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)
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Roland Füßl
Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschinen) sind technologische Ausrüstungen, die die Positionierung, Antastung und Messung von zentimetergroßen Objekten mit Nanometerpräzision ermöglichen. Die Ausgabe von Messergebnissen erfordert die Angabe von Messunsicherheiten. Der vorliegende Artikel beschreibt ein neuartiges modulares Konzept zur Erstellung von Mess-unsicherheitsbudgets für NPM-Maschinen auf der Basis eines vektoriellen metrologischen Modells.
Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) are pieces of technological equipment that allow positioning, touching and measuring of centimeter-sized objects with nanometer precision. The specification of measurement results requires the expression of the uncertainty in measurement. The present paper describes a new modular concept for the expression of uncertainty budgets of NPM-Machines based on a vectorial metrological model.
Literatur
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© Oldenbourg Wissenschaftsverlag
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