Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche (Nanopositioning over Large Travel Ranges)
-
Steffen Hesse
Auf Basis des Konzepts integrierter Mehrkoordinatenantriebe werden Nanopositioniersysteme für große Verfahrbereiche entwickelt. Dabei ist die Umsetzung einer hochpräzisen Abbe-Fehler-freien Positionsmessung eine wesentliche Voraussetzung. Durch gezielte Untersuchungen der Funktionsgruppen für Antrieb und Führung werden Störquellen und genauigkeitsbegrenzende Faktoren identifiziert und so die kritischen Stellen für eine Reduzierung der Positionierunsicherheit lokalisiert.
Based on the concept of integrated multi-coordinate drives nanopositioning systems for large travel ranges are developed. Thereby the implementation of a precise position measurement free of Abbé offset is vital. By specific investigations of the functional parts of actuation and guiding, the sources of distortions and the accuracy limiting factors are identified and thereby the crucial points for reducing the positioning uncertainty are localized.
Literatur
1 H.-D. Stölting, E. Kallenbach: Handbuch elektrische Kleinantriebe. München 2001. S. 178ff.Search in Google Scholar
2 Tetra GmbH Ilmenau: Planar Motion System PMS 100-3-0.2 URL: http://www.tetra-ilmenau.de/d/d_pms_100_02.html [Zugriff am 20.4.2006].Search in Google Scholar
3 T. Hausotte: Nanopositionier- und Nanomess- maschine. Dissertation. TU Ilmenau 2002. S. 154–155.Search in Google Scholar
4 C. Schäffel, S. Hesse, H.-U. Mohr: Investigation of the noise behaviour of aerostatic bearings for ultra- precision stages. Proc. of 4th euspen International Conference Glasgow, Scotland, May–June 2004. S. 382–383.Search in Google Scholar
© Oldenbourg Wissenschaftsverlag
Articles in the same Issue
- Nanomess- und Nanopositioniertechnik
- Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)
- Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)
- Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine (Linking up Various Detection Systems for Dimensional Measurements in the Micro- and Nanorange with the Nanomeasuring Machine)
- Raster-Sonden-Mikroskopie mit Cantilever-Arrays (Scanning Probe Microscopy with Cantilever Arrays)
- Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche (Nanopositioning over Large Travel Ranges)
- Materials, Bearings, and Lubricants for Nanopositioning (Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung)
- Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)
- Literatur: Multiimage 3-D-Messsysteme sicher überwachen und rückführen
- Produktinformationen
- Veranstaltungen September 2006 bis November 2006
Articles in the same Issue
- Nanomess- und Nanopositioniertechnik
- Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)
- Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)
- Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine (Linking up Various Detection Systems for Dimensional Measurements in the Micro- and Nanorange with the Nanomeasuring Machine)
- Raster-Sonden-Mikroskopie mit Cantilever-Arrays (Scanning Probe Microscopy with Cantilever Arrays)
- Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche (Nanopositioning over Large Travel Ranges)
- Materials, Bearings, and Lubricants for Nanopositioning (Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung)
- Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)
- Literatur: Multiimage 3-D-Messsysteme sicher überwachen und rückführen
- Produktinformationen
- Veranstaltungen September 2006 bis November 2006
