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Nanomess- und Nanopositioniertechnik
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Gerd Jäger
Veröffentlicht/Copyright:
25. September 2009
Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2006-09
© Oldenbourg Wissenschaftsverlag
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Artikel in diesem Heft
- Nanomess- und Nanopositioniertechnik
- Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)
- Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)
- Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine (Linking up Various Detection Systems for Dimensional Measurements in the Micro- and Nanorange with the Nanomeasuring Machine)
- Raster-Sonden-Mikroskopie mit Cantilever-Arrays (Scanning Probe Microscopy with Cantilever Arrays)
- Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche (Nanopositioning over Large Travel Ranges)
- Materials, Bearings, and Lubricants for Nanopositioning (Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung)
- Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)
- Literatur: Multiimage 3-D-Messsysteme sicher überwachen und rückführen
- Produktinformationen
- Veranstaltungen September 2006 bis November 2006
Artikel in diesem Heft
- Nanomess- und Nanopositioniertechnik
- Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)
- Messunsicherheitsanalyse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen mit Hilfe eines neuen vektoriellen Modellansatzes (Analysis of the Measurement Uncertainties of Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (NPM-Machines) by Means of a New Vectorial Model Approach)
- Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine (Linking up Various Detection Systems for Dimensional Measurements in the Micro- and Nanorange with the Nanomeasuring Machine)
- Raster-Sonden-Mikroskopie mit Cantilever-Arrays (Scanning Probe Microscopy with Cantilever Arrays)
- Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche (Nanopositioning over Large Travel Ranges)
- Materials, Bearings, and Lubricants for Nanopositioning (Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung)
- Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)
- Literatur: Multiimage 3-D-Messsysteme sicher überwachen und rückführen
- Produktinformationen
- Veranstaltungen September 2006 bis November 2006