Untersuchung von Phasensingularitäten in der Umgebung kleiner Strukturen mit einem Linnik-Interferenzmikroskop (Investigation of Phase Singularities in the Vicinity of Small Structures Using a Linnik Interference Microscope)
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R. Dorn
Wir präsentieren Untersuchungen zur Feldverteilung in der Umgebung von Sub-λ-Strukturen. Das Auftreten von Singularitäten in der Phasenverteilung des reflektierten Feldes wird theoretisch und experimentell in Hinsicht auf die Möglichkeit der lateralen Überauflösung untersucht. Ein theoretisches Modell für die Berechnungen des elektrischen Feldes, welches auf dem Greenfunktion-Formalismus basiert, wird diskutiert. Messungen an zweidimensionalen Objekten wurden mit Hilfe eines Linnik-Interferenz-Mikroskopes durchgeführt.
We present studies of the electric field that is reflected by sub-λ-structures. The occurence of singularities in the phase distribution of the field is investigated theoretically and experimentally with regard to the possibility to achieve lateral superresolution. A theoretical model for the calculation of the electric field is discussed that is based on the Green function formalism. Measurements on two-dimensional objects were performed using a Linnik interference microscope.
Artikel in diesem Heft
- Schneller, genauer, zuverlässiger OPTO 2000: optische Messtechnik und ihre Anwendungen
- Schnelles und hochauflösendes Laserradar mit Amplituden- und Laufzeitkompensation (Fast and High-Resolution Laser Radar Using Amplitude and Time-Delay Compensation)
- Mehrwellenlängen-Interferometrie zur absoluten Abstandsmessung und 3D-Bildgebung (Multiple-Wavelength Interferometry for Absolute Distance Measurement and Three-Dimensional Imaging)
- Absolute Distanzmessung mit einem faseroptischen Interferometer (Absolute Distance Measurements with a Fiber Optic Interferometer)
- In-process-Charakterisierung von Oberflächen-Mikrotopographien mittels Specklekorrelations-Verfahren (In-process Characterization of Surface Microtopographies Using Speckle Correlation Methods)
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- Lackierungskontrolle mit PMD-Reflexionssensor (Coating Inspection with a PMD Reflection Sensor)
- Drehmomentsensor für Mikromotoren mit optoelektronischer Messeinrichtung (Torque Sensor for Micro Motors with Opto-Electronic Measuring Equipment)
- Restflüssigkeitsdetektor für die Getränkeindustrie (Optical Detection of Residual Fluid in the Beverage Bottles)
- Wavelets: Eine praxisorientierte Einführung mit Beispielen, Teil 7 (Wavelets: An Introduction for Potential Users, Part 7)
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