Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen (Silicon-based Microsensors for Pressure and Differential Pressure with Media Separation for Industrial Applications)
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Christian Wohlgemuth
Abstract
Die mediengetrennte Gehäusung piezoresistiver Drucksensoren ist gegenüber den Kosten für das Silizium-Messelement unverhältnismäßig teuer. Der Einsatz neuer Werkstoffe und Fertigungsverfahren ermöglicht es, die Sensoren zu miniaturisieren, Kosten einzusparen und eine mikrocontrollerbasierte Fehlerkorrektur zu integrieren.
Abstract
Media separated housing of piezoresistive pressure sensors is disproportionately expensive compared to the silicon sensor element. The use of new materials and manufacturing methods allows miniaturisation of the sensor, reduction of costs, and integration of microcontroller based error correction.
Literatur
1 Gerlach, G.; Werthschützky, R.: 50 Jahre Entdeckung des piezoresistiven Effekts – Geschichte und Entwicklungsstand piezoresistiver Sensoren; tm – Technisches Messen 72 (2005) 2, 53–76, Oldenbourg Wissenschaftsverlag.Suche in Google Scholar
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© Oldenbourg Verlag
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