Dynamik von MEMS-Bausteinen berührungslos charakterisieren (Non-contact Characterization of MEMS Dynamics)
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Alexander Dräbenstedt
Abstract
Ein neues kombiniertes Messverfahren eröffnet wichtige Analysemöglichkeiten für Mikrosysteme. Mit Hilfe der im Out-of-plane-Bereich extrem empfindlichen Laser-Doppler-Technik werden auf Grund von immer vorhandenen parasitären Kopplungen auch In-plane-Resonanzen identifiziert. Mittels Videostroboskopie können die In-plane-Schwingungen dann genau vermessen werden. Der sich letztendlich ergebende Datensatz mit In-plane- und Out-of-plane-Daten ist äußerst wichtig für den Abgleich von Simulationsmodellen zur Modalanalyse von Mikrosystemen.
Abstract
A new combined measurement method allows novel methods for analyzing micro systems. The highly sensitive Laser-Doppler technique is used to find rapidly all mechanical resonances of a device, including also in-plane resonances through their parasitic out-of-plane coupling. Then video stroboscopy is used to precisely analyze the in-plane motion. The final data set with in-plane and out-of-plane data is crucial for the evaluation and updating of simulation models for modal analysis of microsystems.
Literatur
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© Oldenbourg Verlag
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