Startseite Atomic layer deposition: state-of-the-art and research/industrial perspectives
Artikel Öffentlich zugänglich

Atomic layer deposition: state-of-the-art and research/industrial perspectives

  • Elia Marin , Alex Lanzutti , Francesco Andreatta , Maria Lekka , Luis Guzman und Lorenzo Fedrizzi
Veröffentlicht/Copyright: 13. Oktober 2011

Published Online: 2011-10-13
Published in Print: 2011-11-01

©2011 by Walter de Gruyter Berlin Boston

Heruntergeladen am 11.10.2025 von https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1515/CORRREV.2011.010/html?lang=de
Button zum nach oben scrollen