Ein Differential-Interferometer mit konfokalem Positionssensor zum Messen kleinster Verschiebungen eines stark gekrümmten Prüflings (A Differential Interferometer with Confocal Position Sensor for the Measurement of Very Small Displacements of an Object with Narrow Curvature)
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Zhi Li
Abstract
Dieser Beitrag behandelt die Entwicklung eines Differential-Interferometers mit einer neuen Konfiguration, um die Verschiebung von stark gekrümmten Prüflingen zu messen. In den vorhandenen Aufbau eines Differential-Interferometers wurde ein konfokaler Sensor mit dem Ziel integriert, die relative Position zwischen dem Prüfling und dem Strahlteiler zu bestimmen. Eine Experimentaleinrichtung wurde aufgebaut, um ein Tiefenmesssystem in einem kommerziellen Nanoindentation-Gerät zu kalibrieren, die auch die Vorteile des entwickelten Differential-Interferometers deutlich demonstriert.
Abstract
This paper describes the development of a differential interferometer with new configuration for displacement measurements on strongly curved objects. A confocal position sensor was introduced into the setup of an existing differential interferometer with the aim to determine the relative position between the object and the reference beamsplitter. An experimental prototype has been built to calibrate the depth measuring system in a commercial nanoindentation instrument, which also clearly demonstrates the advantages of the differential interferometer developed.
References
1 European Commission – SMT-Project: Determination of Hardness and Modulus of Thin Films and Coatings by Nanoindentation – INDICOAT, Contract SMT4-CT98/2449. Final report, May 2001 (NPL Report MATC (A) 24).Suche in Google Scholar
2 User's Manual to Triboscope. Hysitron Inc. Minneapolis, U.S.A. 1997.Suche in Google Scholar
3 K. Herrmann, Z. Li, F. Pohlenz: Development of a calibration device for the depth measuring system in a nanoindentation instrument. – Proceedings of the 47th International Scientific Colloquium of the Technical University of Ilmenau, Ilmenau 2002, S. 516–517.Suche in Google Scholar
4 H. Zhao, R. Liang, D. Li, M. Cao: Practical common path heterodyne surface profiling interferometer with automatic focusing. – In: Optics & Laser Technology 33 (2001), S. 259–262.Suche in Google Scholar
5 C.-H. Lee, J. Wang: Noninterferometric differential confocal microscopy with 2-nm depth resolution. – In: Optics Communications 135 (1997), S. 233–237.Suche in Google Scholar
6 Z. Li, K. Herrmann: Vorrichtung zum Messen eines Profils und kleinster Verschiebungen, G01B 9/02, Erfindungs-Anmeldenr. 13692623 vom 19.03.2004.Suche in Google Scholar
© Oldenbourg Verlag
Artikel in diesem Heft
- Ein Differential-Interferometer mit konfokalem Positionssensor zum Messen kleinster Verschiebungen eines stark gekrümmten Prüflings (A Differential Interferometer with Confocal Position Sensor for the Measurement of Very Small Displacements of an Object with Narrow Curvature)
- Bildbasierte vektorielle Geschwindigkeitsmessung texturierter Oberflächen (Image-based Vectorial Velocity Measurement of Textured Surfaces)
- Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen (Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications)
- Nutzung der Ultraschallgeschwindigkeitsmessung für die Ermittlung des Fettgehaltes in Milch (Use of the Ultrasound Velocity Measurement for the Determination of the Fat Content in Milk)
- Koeffizienten und Ausgleichsrechnung: Die Messunsicherheit nach GUM. Teil 1: Ausgleichsgeraden (Coefficients and Adjustment Calculations: Measurement Uncertainty under GUM. Part 1: Best Fit Straight Lines)
- Produktinformationen
- Veranstaltungen von Oktober bis Dezember 2005
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