Heft
Lizenziert
Nicht lizenziert
Erfordert eine Authentifizierung
Band 3, Heft 3-4
Inhalt
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertCONTENTSLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertEndothelial Cells: The Living Sensors and ActuatorsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertBio-Electrochemical Characterization of Micromachined Two- Electrode Cell SensorsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMicro Flow Cytometers with Buried SU-8/SOG Optical Waveguides for On-line Cell CountingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertEnhanceing Antitumor Effect of Adriamycin Nanoparticle - Lipiodol Emulsion by Pretreating Tumor Cells with DiethyldithiocarbamateLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertΑ Model of Directed Binding to Microtubules by Kinesin and Ned Motor ProteinsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMicro-systems for Optical Protein-ChipLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign and Fabrication of a Micro Controller Based Glucose SensorLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA Micropipet Aspiration System to Measure the Kinetics of Selectin/Ligand InteractionsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDriven by Electroosmotic Flow (EOF) in Poly(dimethylsiloxane) ( PDMS )/Glass MicrochipLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication of Microfluidic Electrocontrolled Chip in Polydimethylsiloxane (PDMS)Lizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDevelopment and Characterization of DNA Hybridization Reaction on PDMS MicrochipLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMEMS-based Temperature Control Systems for DNA AmplificationLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign and Microfabrication of Biochemical Reaction ChipLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Construction of Layered Architectures of Dendrimers — Adsorption Layers of Amino-terminated Dendrimers on 3-Mercaptopropionic Acid Self-assembled Monolayer Formed on AuLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPerylene Derivative Based Self-Assembled Monolayer on ITO Electrode SurfacesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAnalysis of Thermal Cycling in Micro-PCR ChipLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign and CFD Analysis of the Flow in A Micro-Fabricated PCR-Chip for Leukemia DiagnosisLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMedical Image Compression Using Tree-Structured Vector Quantization and Fuzzy C-MeansLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA Two-State Model for the Transport of Molecular MotorsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertEffective Potential and Efficiency for a Single Brownian MotorLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertNanostructure of Nacre and Its Mechanical EffectsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAn Experimental Investigation of Hollow Fiber Flow in DialyzerLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign and Rapid Fabrication of a Microfluidic Fraction CollectorLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA MEMS Flowmeter for Measuring Very Small Flow RatesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertElectrostatic MEMS Planar Fan for Enhancement of Fluid MixingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPreparation of ultra-fine calcium silicate powdersLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA Circular-Type Thermal Flow Direction Sensor with an Integrated Interface CircuitLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertResearch on a Novel Integrated Pressure Sensor for High TemperatureLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication of Thin Film Vanadium Oxide for MicrobolometerLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAn Uncooled Microbolometer Infrared Detector Based on Polycrystalline Silicon Germanium Thin FilmLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA Micromachined Piezoresistive High-g Accelerometer with High Sensitivity and Wide Frequency-Band: Design and ModelingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertStructural Failure Analysis and Numerical Simulation of Microaccelerometers under Impulsive LoadingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA Novel Structure of Passive Ring Resonator on Silicon SubstrateLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPhase and Vibration Analysis for a CMOS-MEMS GyroscopeLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA New Z-axis Silicon Micromachined Vibrating GyroscopeLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMicro-machined Rate GyroscopeLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSimulation of Vibratory Micromachined Gyroscope with Fence StructureLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSymmetrica! Design and Analysis of a Novel MEMS-based 1×2 Optical SwitchLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSimulation, Optimization and Measurement of MEMS Torsion Micro Mirrors for Optical MEMS ApplicationLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertOptical Alignment Applied for Solving Axis-Misaligned Errors in Micro Electro-Mechanical SystemsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertElectromechanical Studies on Micro Torsion-Mirror Actuators with Monolithically Integrated Fiber Self-Holding StructuresLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFailure Modes of Doubly Supported Capacitive RF MEMS SwitchesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertNumerical Simulation of a Bulk Micromachined Relay with Lateral ContactLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFailure Mechanisms of a Micro Fabricated RelayLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAn Analytical Model for High Performance Capacitive RF MEMS Switch DesignLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign of A Novel Bulk Micro-machined RF MEMS SwitchLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign and Analysis of A Micromachined Capacitive RF Shunt Switch with Composite MembraneLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication and Characterization of Nickel Titanium Shape memory Thin Films by RF Magnetron Sputtering for MEMS ApplicationsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign and Modeling of a New Thermocouple Structure for Microwave Power MeasurementsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDesign of S-band TT&C Transponder for Pico-SatellitesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertComparison Between the System Identification and the Neural Network Methods in Identifying a Model Helicopter's Yaw MovementLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSystem Identification of a Model Helicopter's Yaw Movement Based on an Operator's ControlLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMicro-machined Conformal Silicon Molds for Wafer Bumping and ProbingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication and Experimental Results of Lateral Trench Electrode IGBTLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMicromachined Multilevel Silicon Structure by Anisotropie Wet EtchingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAnnealing Effect on the Adhesion of Stacked Films for MEMSLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMeasurement of Adhesive Force between Micro Surfaces with a Novel Micro Leverage StructureLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Fabrcation of Large Area Si3N4 Membrane Mounted with NiCr/Ni ThermocouplesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertInvestigation of Laser-assisted Bonding for MEMS PackagingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFlip Chip Technologies and Their Applications in MEMS PackagingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertImage-Based Calibration for MicromanipulatorsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertEffect of Microchannel on Improving the Photoelectro- chemical Performance of Nanostructured TiO2 Electrodes Sensitized by Ru ComplexLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSurface Finish and Performances of Read/Write Heads by Using Ultra-Fine Diamond Slurry in Polishing ProcessLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertChemical Mechanical Polishing of Computer Hard Disk Substrate in Colloidal SiO2 SlurryLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertOptical Sensing of Volatile Organic Compounds Using Metalloporphyrins Langmuir-Blodgett FilmsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertNanotubes of Conducting Polyaniline and PolypyrroleLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMolecular Dynamics and Quantum Mechanics Investigation on Mechanic-electric Behaviors of NanotubesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication of NanorollersLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPOSITIONING TABLES FOR NANOFABRICATIONLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertLubrication Theory for Thin Film Lubrication Accounting for the Ordered Film ModelLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertNano-microscale Characterizations to Al2O3/SiCnano Ceramic CompositesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertStudy on Mechanical Properties of Nanocrystal Surface Layer of an Aluminum AlloyLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Effects of Experimental Parameters on the Orientation of AlN Nano FilmsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSurface Roughness Effect on the Tensile Strength of Micromachined Polysilicon FilmsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertElectrical Field Induced Effect in Nanocrystalline Gold Film during DepositionLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertStudy of Double-Base Thick Film Ceramic MaterialLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertNanometer Scale Interfacial Lubrication of PFPE Lubricants Z-DOL and AWA at Hard Disk InterfaceLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPreparation and Tribological Behavior of Perfluoropolyether Lubricant Film on ZrO2 Thin FilmLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Initial Sliding Microfriction Properties of Polysilicon FilmsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertNano-frictional Behaviors on Etched Silicon (100) SurfacesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabricating Nano-structured Surface of Si-based Materials and Their PropertiesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertEffects Analysis on the Mechanical Properties of Nanocrystalline MaterialsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDepth dependence of nanohardness in a CuAlNi single crystal shape memory alloyLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPhase Transformations of Micromachined Polysilicon Films under NanoindentationsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertTheoretical Methods for NanoindentationLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertTheoretical Study on Effect of the Size of Silver Nanoparticles on the Localized Surface Plasmon Resonance Spectrum of Silver Nanoparticles Embedded in BaO Thin FilmLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPreparation of Ultra-Fine Calcium Silicate PowdersLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPreparation of VOP Ultra-fine Particles by Supercritical Fluid DryingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertLyapunov Exponents of a Micro Chaotic MixerLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Pumping Effect of Traveling Phase Transition in MicrotubesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFiber Ring Laser Intra-cavity Absorption Spectroscopy for Gas SensingLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDiscussion about the Similarity of Micro-scale Gas FlowsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertProceeding of Experiments about Liquid Flow through MicrotubesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertCharacteristics of the Localized Interface Optical-phonon Modes in Triple-constitution Superlattices with Defect LayersLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Simulation on the Microelectromechanical Tunable F-P Optical FilterLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertTopology Optimization for Stable Non-linear StructuresLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertImprovement of Micro End Milling Tools through Variation of Tool Manufacturing Method and GeometryLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertΑ Model of Computation of Elastic and Plastic Contact Considering Adhesion EffectLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertCharacterization and Modeling of a Curved Electrostatic ActuatorLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMethod for Reducing Reactive Ion Etching Lag in MEMS ProcessLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertRelative Importance of Natural Convection and Surface Radiation in a Square EnclosureLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertCharacterization of Electronic Transients by an Ultrafast Scanning Tunneling MicroscopeLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSimulation of Contact Interaction of Nanometer Objects Pushing Using AFM Cantilever as ManipulatorLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertOptical Module for a Near-Field Hybrid Recording System Using the Diffractive Optical Element (DOE)Lizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertM-Test Method for Measuring Mechanical Property of Multi-layer in MEMSLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertRotor Manipulation Mechanism for Micro Unmanned HelicopterLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMechanical Model of Laterally Driven Polysilicon MicroresonantLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMicrostructure, Mechanical and Magnetic Properties of FeTiN Thin Films by IBADLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMicromechanical Characterization of TiN Films on 9Cr18 SteelsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDeformation Measurement of a Small Component and a Thin Film Using Time Sequence Speckle Pattern InterferometryLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertEvaluation of Mechanical Properties and Strain Criterion for Realibility Design of Micromachined Polysilicon Thin FilmsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertProperties and Structure of High Coercivity Sm(Co, Al, Si)/Cr Sputtered Thin FilmsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertReliability of Electrostatic MEMS: Charge Accumulation in Dielectric LayerLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertElectrical Properties of Multilayer-Chip ZnO VaristorsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertElectrical Properties of Boron and Phosphorus Doped Polycrystalline Silicon Germanium FilmsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertStudy of Fracture Behavior of Piezoelectric Ceramics with DefectsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertOnset of Adiabatic Shear Instability in Strain Gradient Dependent Metal Matrix CompositesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertCrack Tip Fields with Strain Gradient EffectsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziert3D Simulation of the Micro Indentation Process and Relative Problems ResearchLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSize Effects in Micro-bending Deformation of MEMS Devices Based on the Discrete Dislocation TheoryLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertReflection of Magneto-thermoelastic Waves under Thermoelasticity without Energy DissipationLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMorphological Dynamic Simulation of Cluster of Atoms Deposition ProcessLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAtomic Stick-Slip Friction Between Commensurate Self- Assembled MonolayersLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFreezing Atom Method in Molecular Dynamics SimulationLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Infrared Absorption's Phonon Model of the Nanometer PowderLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertThe Inner Pressure of the Atoms in a Solid in Refined TFD TheoryLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAnalysis of Residual Stress Gradient in MEMS Multi-layer StructureLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication, Characterization and Property of Aligned Multi – walled Carbon nanotubesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertNanostructuring Based on Scanning Probe Microscopy and Bottom Up Assembly for Future Nanoelectronic DevicesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertIntrinsic Vibration of Multiwalled Carbon NanotubesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertPaths Linking Micro and Nano Sciences and TechnologiesLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertIntegrated Micro/Nano Fluidics for Mass-spectrometry Protein AnalysisLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAutonomous Multi-robot Sensor-Based Cooperation for NanomedicineLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSurface Functionalisation, Orientation, Conformation and Positioning of Macromolecules at the Nanometer ScaleLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertAdvances in Quantum Computing and ControlLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication and Property Analysis of MWNT Junctions through Nanorobotic ManipulationsLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertApplications of Oriented Batch-CNTLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFABRICATION OF SUBMICRO CHANNELS IN QUARTZ CUBES USING LASER-INDUCED SPLITTINGLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertDEPENDENCE OF AC ELECTROPHORESIS CARBON NANOTUBE MANIPULATION ON MICROELECTRODE GEOMETRYLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertA POLYMER-BASED MICRO THERMAL ACTUATOR FOR MICROMANIPULATIONS IN AQUEOUS ENVIRONMENTLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertSimulation of Thin Metal Film Bonding for MEMS Applications Inside a Microwave CavityLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertMorphology Correlation to the Superhydrophobicity in an Organic Thin Film on Rough AlLizenziert1. Dezember 2002
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Erfordert eine Authentifizierung Nicht lizenziertFabrication of an Electrothermally Actuated Electrostatic MicrogripperLizenziert1. Dezember 2002
