Selbstnachführendes Laserinterferometer für die Koordinatenmesstechnik (Tracking Laser Interferometer for Coordinate Metrology)
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Frank Härtig
Abstract
Die Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten (KMG) kann durch die Integration eines selbstnachführenden Laserinterferometers deutlich verbessert werden. Das in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) entwickelte Verfahren verknüpft die Koordinaten jedes gemessenen Punktes des KMG mit einer hochgenauen interferometrischen Längeninformation. Die zentrale Komponente hierbei ist das ebenfalls in der PTB entwickelte selbstnachführende Laserinterferometer. Sein konstruktiver Aufbau ermöglicht hochgenaue Abstandsmessungen im Raum. Ergebnisse aus Simulationen und Messungen verifizieren das neue Verfahren.
Abstract
The accuracy of coordinate measuring machines (CMM) can be improved considerably by integrating a tracking laser interferometer. This novel measurement approach developed by the Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) combines the three coordinates of each determined measuring point of the CMM with a highly accurate interferometric length information. The crucial component is the tracking laser interferometer which has been developed by the PTB. Its design allows to carry out highly accurate distance measurements in space. Simulation and first measurement results verify the novel approach.
© 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH
Artikel in diesem Heft
- XVII. Messtechnisches Symposium in Darmstadt
- Methoden der interferometrischen Formerfassung nicht-ruhender technischer Oberflächen (Methods for Interferometric Contour Measurement of Non Stationary Technical Surfaces)
- Bildfolgenauswertung zur Inspektion geschliffener Oberflächen (Analysis of Image Sequences for the Inspection of Grinded Surfaces)
- Selbstnachführendes Laserinterferometer für die Koordinatenmesstechnik (Tracking Laser Interferometer for Coordinate Metrology)
- Neuartige Polymer- und Siliziumsensoren in der Akustik (Novel Polymer and Silicon Sensors in Acoustics)
- Einfluss der Gehäusung auf den Entwurf und die Realisierung umweltrobuster, miniaturisierter Drucksensoren (Influence of Housing to Design and Manufacturing of Miniaturised Pressure Sensors for Harsh Environments)
- Selbstüberwachter Stellantrieb mit elektrochemischem Aktor (Self-Monitored Valve-Drive with Electrochemical Actuator)
- Neuartige Regelung eines Coriolis-Massedurchflussmessers (A Novel Control Algorithm for Coriolis Mass Flowmeters)
- Mehrkanalige Signalschätzung für die technische Diagnose (Multi-channel Signal Estimation for Machine Diagnosis)
- Auch die Schweiz setzt auf VDE-Zeichen / Ingenieurarbeitsmarkt per Mausklick
- Produktinformationen
- Veranstaltungen vom April bis Oktober 2004
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