Vergleichende Untersuchung optischer Oberflächenmessgeräte mit einem Chirp-Kalibriernormal
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Zusammenfassung
In diesem Beitrag werden Eigenschaften von optischen Topografiemessgeräten an Hand eines „Chirp“-Kalibriernormals untersucht. Mit Hilfe des Normals soll es ermöglicht werden, das Übertragungsverhalten von Oberflächenmessgeräten zu ermitteln. Im konkreten Fall werden dazu ein Weißlichtinterferenzmikroskop und ein konfokales Mikroskop gegenübergestellt. Es werden Unterschiede in den Messergebnissen aufgezeigt, welche zur Charakterisierung von optischen Oberflächenmessgeräten bzgl. ihrer Eignung zur Messung technischer Oberflächen dienen können.
Abstract
In this article the characteristics of optical topography measuring systems are analyzed by a chirp calibration standard. With the aid of this standard it should be possible to characterize the instrument transfer behaviour of surface measuring devices. In this special case a white light interference microscope and a confocal microscope are compared. The measurement results show differences which can be used for the characterization of optical surface measuring devices with respect to their applicability for technical surfaces.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Ingolstadt, Germany
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