Strahler-Empfänger-Baugruppen zur Messung von Streulicht — eine Alternative zu Partikelzählern?
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Zusammenfassung
Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme (MOEMS) setzen sich in der Sensorik immer mehr durch. In diesem Zusammenhang werden planare Strahler-Empfänger-Baugruppen mit Siliziumfotodioden, vertikal emittierendem Laser und integrierter Mikrooptik zur Messung von Partikelanzahlkonzentrationen in Flüssigkeiten vorgestellt. Zwei unterschiedliche Varianten des Sensors, mit und ohne Mikrooptik zur Formung der Primärstrahlung, werden miteinander verglichen. In dieser Arbeit wird durch Experimente gezeigt, dass für die Anordnung mit Mikrooptik eine deutlich verbesserte Sensitivität erreicht werden kann.
Abstract
Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems (MOEMS) become widely accepted in sensor technology. In this context planar emitter-receiverdevices with silicon photodiodes vertical emitting laser, and integrated micro-optics to measure the concentration of particles in fluids are presented. Two different variations of the sensor, with and without micro-optics to shape the primary light, are compared. The arrangements with integrated micro-optics achieve a clearly increased sensitivity. This is demonstrated by experiments.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Erfurt, Germany
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