The Metrological Basis and Operation of Nanopositioning and Nanomeasuring Machine NMM-1 Metrologische Grundlagen und Wirkungsweise der Nanopositionier- und Messmaschine NMM-1
-
Abstract
After an explanation of the set-up of a nanomeasuring machine NMM-1, its high performance is described with a metrological analysis. This analysis shows some of today´s limits of nanopositioning and nanomeasuring engineering. Single, double and triple beam plane mirror interferometers are applied in the nanomeasuring machine in order to measure and control the six degrees of freedom of the 3D nanopositioning stage. The various applications of the nanomeasuring machine are based on the installation of optical and tactile nanoprobes above the 3D nanopositioning stage. The set-up, function and measurement results of some zero-point nanoprobes in combination with the nanomeasuring machine are explained.
Zusammenfassung
Nach einer Erläuterung des Aufbaus der Nanomessmaschine NMM-1 wird deren hohe Leistungsfähigkeit anhand einer metrologischen Analyse dargestellt. Diese Analyse zeigt einige der heutigen Grenzen der Nanopositionier- und Nanomesstechnik auf. Planspiegelinterferometer mit einem, zwei oder drei Strahlen werden in der Nanomessmaschine verwendet, um die sechs Freiheitsgrade des 3D-Nanopositioniertisches zu messen und zu regeln. Der Einsatz von optischen und taktilen Sensoren ermöglicht die Anwendungen der Nanomessmaschine bei verschiedensten Messaufgaben. Aufbau, Funktion und Messergebnisse einiger Nullpunktsensoren in Verbindung mit der Nanomessmaschine werden erklärt.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany
Articles in the same Issue
- International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Part 1: Nanomeasuring and Nanopositioning Technology
- The Metrological Basis and Operation of Nanopositioning and Nanomeasuring Machine NMM-1 Metrologische Grundlagen und Wirkungsweise der Nanopositionier- und Messmaschine NMM-1
- Uncertainty Consideration of the Coordinate System in Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines Unsicherheitsüberlegungen zum Koordinatensystem in Nano-Positionier- und Messmaschinen
- Developments in Homodyne Interferometry Fortschritte in der Homodyn-Interferometrie
- The Application of the Dual-Beam Laser Interferometer for Calibration Precision Machine Tools Anwendung eines Zweistrahl-Laserinterferometers zur Kalibrierung von Präzisionswerkzeugen
- Design of a Novel Low-Cost and Long-Stroke Co-Planar Stage for Nanopositioning Neuartiger preisgünstiger Zwei-Ebenen-Positioniertisch für die Nanopositionierung
- Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy Interferometrische Abstandsmessung für das scannende Mikroskopieverfahren
- An Improved Three-Probe Method for Precision Measurement of Straightness Verbesserung der Drei-Sensoren-Methode für die Präzisions-Geradheitsmessung
- Improving the Speed of AFM by Mechatronic Design and Modern Control Methods Geschwindigkeitsverbesserung beim AFM mittels mechatronischem Design und modernen Regelmethoden
- Navigation in a Large Measurement Volume by Using AFM Technology as a Sensor System in the NPMM Navigation in einem großen Messvolumen in der Nanopositionier- und Mess-Maschine (NPMM) mittels AFM-Technologie
- Veranstaltungen von Mai 2009 bis Oktober 2009
Articles in the same Issue
- International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Part 1: Nanomeasuring and Nanopositioning Technology
- The Metrological Basis and Operation of Nanopositioning and Nanomeasuring Machine NMM-1 Metrologische Grundlagen und Wirkungsweise der Nanopositionier- und Messmaschine NMM-1
- Uncertainty Consideration of the Coordinate System in Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines Unsicherheitsüberlegungen zum Koordinatensystem in Nano-Positionier- und Messmaschinen
- Developments in Homodyne Interferometry Fortschritte in der Homodyn-Interferometrie
- The Application of the Dual-Beam Laser Interferometer for Calibration Precision Machine Tools Anwendung eines Zweistrahl-Laserinterferometers zur Kalibrierung von Präzisionswerkzeugen
- Design of a Novel Low-Cost and Long-Stroke Co-Planar Stage for Nanopositioning Neuartiger preisgünstiger Zwei-Ebenen-Positioniertisch für die Nanopositionierung
- Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy Interferometrische Abstandsmessung für das scannende Mikroskopieverfahren
- An Improved Three-Probe Method for Precision Measurement of Straightness Verbesserung der Drei-Sensoren-Methode für die Präzisions-Geradheitsmessung
- Improving the Speed of AFM by Mechatronic Design and Modern Control Methods Geschwindigkeitsverbesserung beim AFM mittels mechatronischem Design und modernen Regelmethoden
- Navigation in a Large Measurement Volume by Using AFM Technology as a Sensor System in the NPMM Navigation in einem großen Messvolumen in der Nanopositionier- und Mess-Maschine (NPMM) mittels AFM-Technologie
- Veranstaltungen von Mai 2009 bis Oktober 2009
