The Application of the Dual-Beam Laser Interferometer for Calibration Precision Machine Tools Anwendung eines Zweistrahl-Laserinterferometers zur Kalibrierung von Präzisionswerkzeugen
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Chien-Hung Liu
Abstract
In this paper, a dual-beam laser interferometer measurement system for precision machine tools was presented. The straightness measurement module and the angular measurement module were combined to form this measurement system such that the operations of precision machine tools, the positioning, vertical straightness, horizontal straightness, pitch and yaw, can be obtained. The resolution of the positioning, straightness and angle has achieved 0.1 nm, 1 nm and 0.1 arcsec, respectively. The performance of this measurement system has been proved by experiments.
Zusammenfassung
In diesem Beitrag wird ein Zweistrahllaserinterferometermesssystem für Präzisionsmaschinenwerkzeuge vorgestellt. Das Geradheits- und das Winkelmessmodul wurden kombiniert, um ein Messsystem herzustellen, das die Arbeitsvorgänge von Präzisionsmaschinenwerkzeugen sowie die Positionierung durchführt und die vertikale und horizontale Geradheit und den Nick- und Gierwinkel bestimmen kann. Die Auflösung der Positionsmessung, der Geradheit und des Winkels beträgt 0,1 nm, 1 nm bzw. 0,1 arcsec. Die Leistung dieses Messsystems wurde in Experimenten nachgewiesen.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany
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