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Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien / High-Precision Optical Profilometry at Surfaces with Varying Materials

  • Holger Jennewein , Thomas Ganz , Harald Gottschling und Theo Tschudi
Veröffentlicht/Copyright: 1. November 1999

Online erschienen: 1999-11
Erschienen im Druck: 1999-11

© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

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