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Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien / High-Precision Optical Profilometry at Surfaces with Varying Materials
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Holger Jennewein
Veröffentlicht/Copyright:
1. November 1999
Online erschienen: 1999-11
Erschienen im Druck: 1999-11
© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München
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Artikel in diesem Heft
- Inhalt
- IMPRESSUM
- EDITORIAL: Analyse und Modellierung technischer Oberflächen mit kombinativer Lasermeßtechnik / Analysis and Modeling of Technical Surfaces with Combinative Laser Metrology
- Hochauflösende Vermessung ausgedehnter technischer Oberflächen mit skalierbarer Topometrie / Highly-Resolved Measurement of Extended Technical Surfaces with Scalable Topometry
- Messung und Beschreibung von Mikrostrukturen unter Berücksichtigung materialspezifischer Eigenschaften / Measurement and Description of Microstructures with Consideration of Material-Specific Characteristics
- Hochauflösende Topometrie im Kontext globaler Makrostrukturen / High Resolution Topometry in Conjunction with Macro Structures
- Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien / High-Precision Optical Profilometry at Surfaces with Varying Materials
- Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie / Precise Structure Measurement using Laser-Based Microellipsometry
- Analyse dynamischer Vorgänge an technischen Oberflächen mit Speckle-Korrelation / Analysis of Surface Processes by Means of Speckle-Correlation
- LITERATUR. PRODUKTINFORMATIONEN
- VERANSTALTUNGSKALENDER
Artikel in diesem Heft
- Inhalt
- IMPRESSUM
- EDITORIAL: Analyse und Modellierung technischer Oberflächen mit kombinativer Lasermeßtechnik / Analysis and Modeling of Technical Surfaces with Combinative Laser Metrology
- Hochauflösende Vermessung ausgedehnter technischer Oberflächen mit skalierbarer Topometrie / Highly-Resolved Measurement of Extended Technical Surfaces with Scalable Topometry
- Messung und Beschreibung von Mikrostrukturen unter Berücksichtigung materialspezifischer Eigenschaften / Measurement and Description of Microstructures with Consideration of Material-Specific Characteristics
- Hochauflösende Topometrie im Kontext globaler Makrostrukturen / High Resolution Topometry in Conjunction with Macro Structures
- Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien / High-Precision Optical Profilometry at Surfaces with Varying Materials
- Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie / Precise Structure Measurement using Laser-Based Microellipsometry
- Analyse dynamischer Vorgänge an technischen Oberflächen mit Speckle-Korrelation / Analysis of Surface Processes by Means of Speckle-Correlation
- LITERATUR. PRODUKTINFORMATIONEN
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