Artikel
Lizenziert
Nicht lizenziert
Erfordert eine Authentifizierung
Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme
Circuit Simulation with FInIte Element Models for MIcroelectromechanical Systems
-
Veröffentlicht/Copyright:
1. April 1999
Published Online: 1999-04
Published in Print: 1999-04
© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München
Sie haben derzeit keinen Zugang zu diesem Inhalt.
Sie haben derzeit keinen Zugang zu diesem Inhalt.
Artikel in diesem Heft
- Inhalt
- EDITORIAL
- Mikrosystemtechnik
- Beiträge
- Simulation der Fluid-Struktur-Wecliselwirkung von Milcromembranpumpen
- Multisensorfusion bei der Verarbeitung mikrosystembasierter Signale
- Modelle und Werkzeuge für den fertigungsnahen Mikrosystementwurf
- Designoptimierung in der Mikrosystemtechnilc mit evolutionären Algoritlimen
- Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme
- Ansätze zur Drehmomentberechnung bei Mikrospiegeln
- NACHRICHTEN
Artikel in diesem Heft
- Inhalt
- EDITORIAL
- Mikrosystemtechnik
- Beiträge
- Simulation der Fluid-Struktur-Wecliselwirkung von Milcromembranpumpen
- Multisensorfusion bei der Verarbeitung mikrosystembasierter Signale
- Modelle und Werkzeuge für den fertigungsnahen Mikrosystementwurf
- Designoptimierung in der Mikrosystemtechnilc mit evolutionären Algoritlimen
- Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme
- Ansätze zur Drehmomentberechnung bei Mikrospiegeln
- NACHRICHTEN
