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Ansätze zur Drehmomentberechnung bei Mikrospiegeln

Torque in Electrostatically Driven Micromirror Devices
  • and
Published/Copyright: April 1, 1999
it - Information Technology
From the journal it - Information Technology Volume 41 Issue 4

Published Online: 1999-04
Published in Print: 1999-04

© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

Articles in the same Issue

  1. Inhalt
  2. EDITORIAL
  3. Mikrosystemtechnik
  4. Beiträge
  5. Simulation der Fluid-Struktur-Wecliselwirkung von Milcromembranpumpen
  6. Multisensorfusion bei der Verarbeitung mikrosystembasierter Signale
  7. Modelle und Werkzeuge für den fertigungsnahen Mikrosystementwurf
  8. Designoptimierung in der Mikrosystemtechnilc mit evolutionären Algoritlimen
  9. Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme
  10. Ansätze zur Drehmomentberechnung bei Mikrospiegeln
  11. NACHRICHTEN
https://doi.org/10.1524/itit.1999.41.4.39

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  1. Inhalt
  2. EDITORIAL
  3. Mikrosystemtechnik
  4. Beiträge
  5. Simulation der Fluid-Struktur-Wecliselwirkung von Milcromembranpumpen
  6. Multisensorfusion bei der Verarbeitung mikrosystembasierter Signale
  7. Modelle und Werkzeuge für den fertigungsnahen Mikrosystementwurf
  8. Designoptimierung in der Mikrosystemtechnilc mit evolutionären Algoritlimen
  9. Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme
  10. Ansätze zur Drehmomentberechnung bei Mikrospiegeln
  11. NACHRICHTEN
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