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3. Schichten aus polykristallinem Silicium

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Struktur von Festkörpern der Mikroelektronik
This chapter is in the book Struktur von Festkörpern der Mikroelektronik
© 2021 Walter de Gruyter GmbH, Berlin/Munich/Boston

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Chapters in this book

  1. Frontmatter 1
  2. Inhaltsverzeichnis 5
  3. Vorwort des Autors für die deutsche Ausgabe 8
  4. Vorwort des Herausgebers der deutschen Ausgabe 9
  5. Vorwort 10
  6. 1. SiO2--Schichten auf Silicium 15
  7. 2. Siliciumnitridschichten 111
  8. 3. Schichten aus polykristallinem Silicium 151
  9. 4. Methoden zur Struktur Untersuchung von Schaltkreismaterialien 199
  10. Zusammenfassung 215
  11. Abkürzungsverzeichnis 220
  12. Literaturverzeichnis 221
  13. Sachverzeichnis 246
https://doi.org/10.1515/9783112484623-006

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  1. Frontmatter 1
  2. Inhaltsverzeichnis 5
  3. Vorwort des Autors für die deutsche Ausgabe 8
  4. Vorwort des Herausgebers der deutschen Ausgabe 9
  5. Vorwort 10
  6. 1. SiO2--Schichten auf Silicium 15
  7. 2. Siliciumnitridschichten 111
  8. 3. Schichten aus polykristallinem Silicium 151
  9. 4. Methoden zur Struktur Untersuchung von Schaltkreismaterialien 199
  10. Zusammenfassung 215
  11. Abkürzungsverzeichnis 220
  12. Literaturverzeichnis 221
  13. Sachverzeichnis 246
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