Startseite New Ways of Revealing the Microstructures of SiC Materials
Artikel
Lizenziert
Nicht lizenziert Erfordert eine Authentifizierung

New Ways of Revealing the Microstructures of SiC Materials

  • K. Sempf , M. Herrmann und U. Sydow
Veröffentlicht/Copyright: 11. Juni 2013
Veröffentlichen auch Sie bei De Gruyter Brill

Abstract

In order to understand the relationships which exist between the microstructures and mechanical properties of ceramic materials and to clarify their respective mechanisms of corrosion, a detailed picture of their microstructures is of particular importance. The examination of such structures using field emission scanning electron microscopy in combination with EDX analysis as well as the FIB technique are demonstrated on polished and electrochemically corroded LPS (liquid phase sintered SiC) and SSiC materials. The possibilities for revealing the diffusion zones in semi-conducting SiC grains are presented. These methods also help to explain the core-shell structures caused by electrochemical corrosion.

Kurzfassung

Für das Verständnis von Gefüge-Eigenschaftsbeziehungen sowie zur Aufklärung von Korrosionsmechanismen sind die detaillierten Gefügedarstellungen an keramischen Werkstoffen von großer Bedeutung. Die Möglichkeiten der detailierten Gefügedarstellung mittels hochauflösender Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie in Kombination mit der EDX-Analyse sowie der FIB-Technik werden an polierten und elektrochemisch korrodierten LPS- (liquid phase sintered SiC) und SSiC-Werkstoffen demonstriert. Möglichkeiten der Darstellung von Diffusionszonen in halbleitenden SiC-Körnern werden vorgestellt. Diese Methoden erlauben auch die durch elektrochemische Korrosion beobachteten Kern-Hülle-Strukturen zu erklären.


Translation: P. Tate


References / Literatur

1 Schwetz, K.A.: Silicon Carbide Based Hard Materials, in Handbook of Ceramic Hard Materials, edited by RalfRiedel, Vol. 2, 2000, pp. 683748. 10.1002/9783527618217.ch20Suche in Google Scholar

2 Baog, M.; Sajgalik, P.; Hnatko, M.; Lences, Z.; Montverde, F.; Keckes, J.; Huang, J.-L.: Nano- versus macro-hardness of liquid phase sintered SiC, J Europ Ceram Soc, 25(2005)529534. 10.1016/j.jeurceramsoc.2004.01.026Suche in Google Scholar

3 Hu, J.; Gu, H.; Chen, Z.; Tan, S.; Jiang, D.; Rühle, M.; Core-shell structure from the solution-repricipitation process in hot-pressed AlN-doped SiC-ceramics, Acta Mater, 55(2007)56665673. 10.1016/j.actamat.2007.06.037Suche in Google Scholar

4 Kleebe, H.-J., Sigl, L-S., Core/Rim Structure of Liquide-Phase-Sintered Silicon Carbide, J. Am Ceram. Soc, 76(3)773776(1993). 10.1111/j.1151-2916.1993.tb08319.xSuche in Google Scholar

5 Ihle, J.; H.P.Martin; Herrmann, M.; Obenaus, P.; Adler, J.; Hermel, W.; Michaelis, A.: The influence of porosity on the electrical properties of liquid phase sintered silicon carbide, Int. J. Mat. Res. (Z. Metallkunde)97(2006)5, 649656.10.3139/146.101285Suche in Google Scholar

6 Sydow, U.; Schneider, M.; Herrmann, M.; Kleebe, H-J.; Michaelis, A.: Electrochemical corrosion of silicon carbide ceramics, Part 1: Electrochemical investigation of sintered silicon carbide (SSiC), Materials and Corrosion2009, 60, No.9999.10.1002/maco.200905448Suche in Google Scholar

7 Conard, T.; Arstila, K.; Hantschel, T.; Franquet, A.; W.Vandervorst; Vecchio, E.; Burgess, S.; F.Bauer: Composition quantification of microelectronics multilayer thin films by EDX: Toward small scale analysis, Materials Research Society, 506 KEYSTONE DRIVE, WARRENDALE, PA 15088–7563 USA IDS Number: BND16.Suche in Google Scholar

Received: 2011-2-3
Accepted: 2011-8-30
Published Online: 2013-06-11
Published in Print: 2012-02-01

© 2012, Carl Hanser Verlag, München

Heruntergeladen am 4.11.2025 von https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.3139/147.110141/pdf?lang=de
Button zum nach oben scrollen