Vermessung und Bewertung der Oberflächentopographie von Mikrobauteilen
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Kurzfassung
Tastschnittgeräte, wie sie üblicherweise zur Rauheitsmessung verwendet werden, sind zur Oberflächenanalyse von Mikrobauteilen nur sehr eingeschränkt einsetzbar. Die Verwendung der konfokalen Weißlichtmikroskopie als berührungsloses optisches Messverfahren zur Topographievermessung von Mikrobauteilen wird vorgestellt. Da die herkömmlichen Rauheitsnormen bei Mikrobauteilen aufgrund der kurzen verfügbaren Messstrecken an die Grenze ihrer Anwendbarkeit stoßen, wird ein neuer Rauheitsparameter für Mikrobauteile vorgeschlagen.
Darüber hinaus wird die Vermessung von Formelementen an Mikrobauteilen mittels konfokaler Weißlichtmikroskopie vorgestellt.
Abstract
Contact stylus instruments as are commonly used for roughness measurements are applicable to an analysis of microcomponents only to a very limited extent. The article introduces the use of confocal white-light microscopy as a non-contacting optical measuring method to measure the topographies of microcomponents. Since the conventional roughness standards meet with the limits of their applicability in microcomponents because the short gauge lengths which are available a novel roughness parameter is proposed for microcomponents.
In addition, the article introduces the measurement of form elements on microcomponents by the use of confocal white-light microscopy.
Literatur/References
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© 2005, Carl Hanser Verlag, München
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