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Mikrotaster für Anwendungen in der taktilen Wegmesstechnik (Micro Probe for Dimensional Metrology)

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Published/Copyright: September 25, 2009
tm - Technisches Messen
From the journal tm - Technisches Messen Volume 70 Issue 5

Abstract

Das weiterentwickelte und optimierte Design eines auf Bulk-Silizium-Technologie basierenden 3-D-Kraftsensors wird beschrieben. In vorangegangenen Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass sich dieser Kraftsensor zum Einsatz in der taktilen Wegmesstechnik als Antastsensor eignet. Das Sensorelement besteht aus einer mit mikrotechnischen Herstellungsverfahren gefertigten Silizium-Bossmembran. In diesem Bericht wird ein neues Design und eine neue Auswertungsstrategie für diesen Sensortyp beschrieben.

Abstract

The development and realization of a three-axial tactile force sensor capable of detecting the three components of an applied force is described. Recent investigations proved that the force sensor can be used as a micro-probe in dimensional metrology. The sensing element consists of a boss membrane fabricated by bulk silicon micro machining. The paper reports on a new design for the sensing elements (piezoresistors) and a new strategy to derive proportional the components of the applied force vector from the three signals.

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Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2003-05-01

© 2003 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH

Articles in the same Issue

  1. Sensor 2003 – Mikrosensoren im Aufwind
  2. Dreiachsiger Beschleunigungssensor in Oberflächenmikromechanik (Surface Micromachined Triaxial Accelerometer)
  3. Winkelmessung mit planaren kapazitiven Sensoren (Angular Measurement with Planar Capacitive Sensors)
  4. Mikrotaster für Anwendungen in der taktilen Wegmesstechnik (Micro Probe for Dimensional Metrology)
  5. CAD-Entwurfsumgebung für Mikrokomponenten (CAD Environment for Micro Components)
  6. Thermomechanische Einflüsse der Chipklebung auf die Genauigkeit mikromechanischer Drucksensoren Teil 1: Simulation (Thermomechanical Effects of the Adhesive Die Attachment on the Accuracy of MEMS Pressure Sensors)
  7. Angepasste Signalverarbeitung für piezoresistive Drucksensoren (Well Adapted Signal Processing for Piezoresistive Pressure Sensors)
  8. Kalibrierung von integrierten Drucksensoren im Waferverbund (On-Wafer Calibration for Pressure Sensors)
  9. Vollautomatisch kalibrierender photoelektrischer Sensor
  10. Temperaturmessgerät eliminiert Thermospannungsfehler
  11. Messung von Differenz-, Über- und Unterdrücken
  12. Laserdiodenmodul mit 90° Abstrahlwinkel
  13. Miniatur-Niedrigdrucksensoren
  14. RPM-Messung mit Laser-Kalibrierung
  15. Schalterprüfgerät für Produktion und Labor
  16. Kompakte Massenspektrometer für mehrfache Gasanalysen
  17. Preisgünstiges Wirbelstrom-Messsystem
  18. Software zur thermischen Analyse von Formen
  19. Laserdioden-Assemblies
  20. Veranstaltungskalender Mai 2003 bis Oktober 2003
https://doi.org/10.1524/teme.70.5.238.20049

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