Process-Integrated Measurement of Aspherical Surfaces Prozessintegrierte Vermessung asphärischer Oberflächen
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Eugenio Garbusi
Abstract
Aspheric lenses have become a synonym for high-performance optics. With an aspherical surface it is possible to correct a great number of aberrations in an optical system that otherwise would require a combination of several spherical ones. However the production of aspherical elements is substantially more complex as in the case of spherical ones because they require different production and measurement procedures. A flexible solution to the aspheric metrology problem without the use of additional compensation optics is presented.
Zusammenfassung
Asphärische Linsen haben sich zu einem Synonym für High-Performance-Optik entwickelt. Asphärische Oberflächen bieten zusätzliche Freiheitsgrade in den Korrekturmöglichkeiten optischer Systeme und ermöglichen im Vergleich zu sphärischen Flächen eine verbesserte Aberrationskorrektur bei gleicher oder geringerer Anzahl optischer Flächen. Dennoch ist die Fertigung von Asphären wesentlich komplizierter als die von kugelförmigen Oberflächen. Heutzutage wird der Einsatz asphärischer Oberflächen durch eine aufwendige und unflexible Messtechnik begrenzt. In diesem Beitrag wird ein neues Verfahren für die schnelle und flexible Vermessung von asphärischen Präzisions-Oberflächen präsentiert, ohne den Einsatz von Nullkompensatoren.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany
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