Ein Differential-Interferometer mit konfokalem Positionssensor zum Messen kleinster Verschiebungen eines stark gekrümmten Prüflings (A Differential Interferometer with Confocal Position Sensor for the Measurement of Very Small Displacements of an Object with Narrow Curvature)
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Zhi Li
Abstract
Dieser Beitrag behandelt die Entwicklung eines Differential-Interferometers mit einer neuen Konfiguration, um die Verschiebung von stark gekrümmten Prüflingen zu messen. In den vorhandenen Aufbau eines Differential-Interferometers wurde ein konfokaler Sensor mit dem Ziel integriert, die relative Position zwischen dem Prüfling und dem Strahlteiler zu bestimmen. Eine Experimentaleinrichtung wurde aufgebaut, um ein Tiefenmesssystem in einem kommerziellen Nanoindentation-Gerät zu kalibrieren, die auch die Vorteile des entwickelten Differential-Interferometers deutlich demonstriert.
Abstract
This paper describes the development of a differential interferometer with new configuration for displacement measurements on strongly curved objects. A confocal position sensor was introduced into the setup of an existing differential interferometer with the aim to determine the relative position between the object and the reference beamsplitter. An experimental prototype has been built to calibrate the depth measuring system in a commercial nanoindentation instrument, which also clearly demonstrates the advantages of the differential interferometer developed.
References
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© Oldenbourg Verlag
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