Anwendung von Filtern bei der Auswertung gemessener Oberflächenprofile (Application of Filters in the Evaluation of Measured Surface Profiles)
Bei der Auswertung von Oberflächenmessungen werden heute verschiedene Tiefpassfilter mit festgelegten Grenzwellenlängen eingesetzt. Das Splinefilter bietet dabei gegenüber dem Gaußfilter deutliche Vorteile. Mit beiden Filtern werden aber nicht nur zufällige, sondern auch systematische Anteile der Messwerte abgeschnitten, so dass wesentliche Informationen verloren gehen können. Die Alternative ist ein iteratives Filterverfahren, bei dem die abgeschnittenen Restabweichungen auf ihren Zufallscharakter getestet werden. Die tiefpassgefilterte Oberfläche ist der Ausgangspunkt zur Berechnung formidealer Geometrieelemente, für die dann auch die Messunsicherheiten angegeben werden können.
Various low-pass filters with fixed cut-off wavelengths are used commonly for the evaluation of surface measurements. The spline filter features advantages over the Gaussian filter. With both filters, however, systematic errors of the surface are cut off and important information may be lost. An iterative filtering procedure is proposed here where the cut-off parts of the variations are tested for their random characteristics. Based on the low-pass filtered surface the ideal geometric features can be calculated together with the uncertainty of the measurements.
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