Home Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie / Precise Structure Measurement using Laser-Based Microellipsometry
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Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie / Precise Structure Measurement using Laser-Based Microellipsometry

  • W. Holzapfel , U. Neuschaefer-Rube , J. Doberitzsch and F. Wirth
Published/Copyright: November 1, 1999
tm - Technisches Messen
From the journal tm - Technisches Messen Volume 66 Issue 11

Online erschienen: 1999-11
Erschienen im Druck: 1999-11

© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

Articles in the same Issue

  1. Inhalt
  2. IMPRESSUM
  3. EDITORIAL: Analyse und Modellierung technischer Oberflächen mit kombinativer Lasermeßtechnik / Analysis and Modeling of Technical Surfaces with Combinative Laser Metrology
  4. Hochauflösende Vermessung ausgedehnter technischer Oberflächen mit skalierbarer Topometrie / Highly-Resolved Measurement of Extended Technical Surfaces with Scalable Topometry
  5. Messung und Beschreibung von Mikrostrukturen unter Berücksichtigung materialspezifischer Eigenschaften / Measurement and Description of Microstructures with Consideration of Material-Specific Characteristics
  6. Hochauflösende Topometrie im Kontext globaler Makrostrukturen / High Resolution Topometry in Conjunction with Macro Structures
  7. Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien / High-Precision Optical Profilometry at Surfaces with Varying Materials
  8. Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie / Precise Structure Measurement using Laser-Based Microellipsometry
  9. Analyse dynamischer Vorgänge an technischen Oberflächen mit Speckle-Korrelation / Analysis of Surface Processes by Means of Speckle-Correlation
  10. LITERATUR. PRODUKTINFORMATIONEN
  11. VERANSTALTUNGSKALENDER
https://doi.org/10.1524/teme.1999.66.11.455

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  1. Inhalt
  2. IMPRESSUM
  3. EDITORIAL: Analyse und Modellierung technischer Oberflächen mit kombinativer Lasermeßtechnik / Analysis and Modeling of Technical Surfaces with Combinative Laser Metrology
  4. Hochauflösende Vermessung ausgedehnter technischer Oberflächen mit skalierbarer Topometrie / Highly-Resolved Measurement of Extended Technical Surfaces with Scalable Topometry
  5. Messung und Beschreibung von Mikrostrukturen unter Berücksichtigung materialspezifischer Eigenschaften / Measurement and Description of Microstructures with Consideration of Material-Specific Characteristics
  6. Hochauflösende Topometrie im Kontext globaler Makrostrukturen / High Resolution Topometry in Conjunction with Macro Structures
  7. Hochpräzise optische Profilometrie an Proben mit variierenden Materialien / High-Precision Optical Profilometry at Surfaces with Varying Materials
  8. Präzise Strukturmeßtechnik mit lasergestützter Mikroellipsometrie / Precise Structure Measurement using Laser-Based Microellipsometry
  9. Analyse dynamischer Vorgänge an technischen Oberflächen mit Speckle-Korrelation / Analysis of Surface Processes by Means of Speckle-Correlation
  10. LITERATUR. PRODUKTINFORMATIONEN
  11. VERANSTALTUNGSKALENDER
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Downloaded on 15.11.2025 from https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1524/teme.1999.66.11.455/pdf
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