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Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme
Circuit Simulation with FInIte Element Models for MIcroelectromechanical Systems
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Georg Pelz
Published/Copyright:
April 1, 1999
Published Online: 1999-04
Published in Print: 1999-04
© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München
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- EDITORIAL
- Mikrosystemtechnik
- Beiträge
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- Multisensorfusion bei der Verarbeitung mikrosystembasierter Signale
- Modelle und Werkzeuge für den fertigungsnahen Mikrosystementwurf
- Designoptimierung in der Mikrosystemtechnilc mit evolutionären Algoritlimen
- Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme
- Ansätze zur Drehmomentberechnung bei Mikrospiegeln
- NACHRICHTEN
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