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4 Wandler
-
Norbert Schwesinger
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Chapters in this book
- Front Matter I
- Inhalt VII
- 1 Einführung und Anwendungen 1
- Vorwort V
- 2 Mechanische Grundelemente 9
- 3 Fluidische Grundelemente 39
- 4 Wandler 65
- 5 Basis-/Substratmaterialien 163
- 6 Herstellung der Mikrokomponenten 255
- 7 Konfektionierung der Mikrokomponenten 471
- 8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsicherungsmanagement) 505
- 9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente 523
- Verzeichnis der Schlüsselbegriffe 559
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- Front Matter I
- Inhalt VII
- 1 Einführung und Anwendungen 1
- Vorwort V
- 2 Mechanische Grundelemente 9
- 3 Fluidische Grundelemente 39
- 4 Wandler 65
- 5 Basis-/Substratmaterialien 163
- 6 Herstellung der Mikrokomponenten 255
- 7 Konfektionierung der Mikrokomponenten 471
- 8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsicherungsmanagement) 505
- 9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente 523
- Verzeichnis der Schlüsselbegriffe 559
