Ein kompakter Tastschnittsensor als Teil eines Multi-Sensor-Systems für Nanomessmaschinen
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Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere taktile Messsysteme für Nanomessmaschinen
Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
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Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere optische, berührungsfreie Sensoren für Nanomessmaschinen
Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Leiter des Fachgebietes Präzisionsmesstechnik an der TU Ilmenau (Fakultät Maschinenbau)
Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Fachgebietsleiter des Fachgebiets Feinwerktechnik/Precision Engineering, Fakultät für Maschinenbau, TU Ilmenau
Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Fachgebiet Feinwerktechnik
Zusammenfassung
Es wurde ein Tastschnittsensor zum Einsatz in der Nanomess- und Nanopositioniermaschine NMM-1 als Teil eines Multi-Sensor-Konzeptes entwickelt. Um die Einbindung in einen vorhandenen automatisierten Sensorwechsler zu ermöglichen, war ein besonders kompakter Aufbau erforderlich. Der Tastschnittsensor nutzt zwei kreisförmige, strukturierte Stahlmembranen zur Führung des Taststiftes und ein Laser-Fokussensor zur Messung der Auslenkung. Zum Funktionsnachweis und zur Ermittlung der messtechnischen Eigenschaften wurde der Sensor in die NMM-1 integriert. Die Messung verschiedener Proben zeigte eine Reproduzierbarkeit im Bereich von wenigen Nanometern.
Abstract
A tactile surface profiler was developed for applications in the nano measuring machine NMM-1. To enable its utilization as part of a multi-sensor concept in an automated sensor changer, a compact design was necessary. The profiler uses a flexure guide made from two circular steel membranes as suspension for the stylus and a focus sensor system to measure its deflection. The profiler was integrated into a NMM-1 to prove its function and investigate its metrological properties. Measurements of different samples showed a reproducibility of few nanometers.
Über die Autoren
Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere taktile Messsysteme für Nanomessmaschinen
Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere optische, berührungsfreie Sensoren für Nanomessmaschinen
Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Leiter des Fachgebietes Präzisionsmesstechnik an der TU Ilmenau (Fakultät Maschinenbau)
Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Fachgebietsleiter des Fachgebiets Feinwerktechnik/Precision Engineering, Fakultät für Maschinenbau, TU Ilmenau
Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Fachgebiet Feinwerktechnik
©2015 Walter de Gruyter Berlin/Boston
Artikel in diesem Heft
- Frontmatter
- Editorial
- 58. Ilmenauer Wissenschaftliches Kolloquium – Nanomesstechnik und Prozessmesstechnik
- Beiträge
- Challenges in nanometrology: high precision measurement of position and size
- Ongoing trends in precision metrology, particularly in nanopositioning and nanomeasuring technology
- High-resolution fiber-coupled interferometric point sensor for micro- and nano-metrology
- Ein kompakter Tastschnittsensor als Teil eines Multi-Sensor-Systems für Nanomessmaschinen
- Minimalinvasives, doppelt fasergekoppeltes Laserhygrometer für die schnelle in-situ Gasanalyse mit Absorptionslängen im Millimeterbereich
- Analyse, physikbasierte Modellierung und Systemidentifikation von Waagen nach dem Prinzip der elektromagnetischen Kraftkompensation (EMK)
- Einsatzblock mit einer Mehrfachfixpunktzelle für einen Temperatur-Blockkalibrator
Artikel in diesem Heft
- Frontmatter
- Editorial
- 58. Ilmenauer Wissenschaftliches Kolloquium – Nanomesstechnik und Prozessmesstechnik
- Beiträge
- Challenges in nanometrology: high precision measurement of position and size
- Ongoing trends in precision metrology, particularly in nanopositioning and nanomeasuring technology
- High-resolution fiber-coupled interferometric point sensor for micro- and nano-metrology
- Ein kompakter Tastschnittsensor als Teil eines Multi-Sensor-Systems für Nanomessmaschinen
- Minimalinvasives, doppelt fasergekoppeltes Laserhygrometer für die schnelle in-situ Gasanalyse mit Absorptionslängen im Millimeterbereich
- Analyse, physikbasierte Modellierung und Systemidentifikation von Waagen nach dem Prinzip der elektromagnetischen Kraftkompensation (EMK)
- Einsatzblock mit einer Mehrfachfixpunktzelle für einen Temperatur-Blockkalibrator
