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Literatur zu Kapitel 1
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Chapters in this book
- Frontmatter 1
- Vorwort 5
- Inhalt 6
- 1. Allgemeine Grundsätze 11
- Literatur zu Kapitel 1 34
- 2. Silicium-Homoepitaxie 35
- Literatur zu Kapitel 2 156
- 3. Epitaxie von Silicium auf isolierendem Substrat 162
- Literatur zu Kapitel 3 235
- 4. Epitaxie von Verbindungshalbleitern 241
- Literatur zu Kapitel 4 321
- Sachregister 328
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- Vorwort 5
- Inhalt 6
- 1. Allgemeine Grundsätze 11
- Literatur zu Kapitel 1 34
- 2. Silicium-Homoepitaxie 35
- Literatur zu Kapitel 2 156
- 3. Epitaxie von Silicium auf isolierendem Substrat 162
- Literatur zu Kapitel 3 235
- 4. Epitaxie von Verbindungshalbleitern 241
- Literatur zu Kapitel 4 321
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