Herstellung dreidimensionaler mikrooptischer Funktionsflächen
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L. Autschbach
Kurzfassung
Die preisgünstige Fertigung mikrooptischer Produkte als Massenartikel oder Endlosfolien in hoher Qualität und Reproduzierbarkeit stellt bis heute eine große technische Herausforderung dar. Mikrooptische Bauteile mit mikrostrukturierten Funktionsoberflächen sind mit Hilfe der Mikrozerspanung und Mikroreplikation grundsätzlich herstellbar und mit der ultrapräzisen Fertigungsmesstechnik nachprüfbar. Dabei ist bisher die Miniaturisierbarkeit der Mikrostrukturen bei gleichzeitig höherer Formgenauigkeit und Oberflächengüte sowie die Herstellung von Großflächen eingeschränkt. In einem Projektverbund erfolgten hierzu Untersuchungen zur ultrapräzisen spanenden Mikrostrukturierung, es wurden Verfahren zur Mikroreplikation weiterentwickelt und die Möglichkeiten zur Messung gefertigter und abgeformter Mikrostrukturen untersucht.
Abstract
The goal of this project with the partners LFM, Bremen, IMOS Gubela GmbH, Renchen, and PTB, Braunschweig, was the exploration of molding processes for ultraprecision manufacturing of optical components with large three-dimensional microstructured surfaces. The miniaturization of microstructures similar by increasing the form accuracy and roughness on large surfaces is limited until now. Within this project microstructuring by diamond milling was investigated, microreplication methods were developed and measuring possibilities on molds and moldings were tested.
© 2005, Carl Hanser Verlag, München
Articles in the same Issue
- Inhalt/Contents
- Inhalt
- Kurzfassungen/Summaries
- Kurzfassungen
- Fachbeiträge/Technical Contributions
- Fortschritte beim Stickstoff-Einsatzhärten von nichtrostenden Stählen nach dem SolNit®-Verfahren∗
- Randschichtschädigung beim Härten und Einsatzhärten von Stählen∗
- Optimierte Wärmebehandlung durch Vakuumhärten mit integriertem Tiefkühlprozess∗
- Metallurgische und fertigungstechnische Maßnahmen zur Steigerung der Härtbarkeit von Einsatzstählen∗
- Herstellung dreidimensionaler mikrooptischer Funktionsflächen
- Reduzierung der Formänderung von Getriebeteilen in Gasaufkohlungs-Durchstoßanlagen durch Hochdruck-Gasabschreckung∗
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