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Selbstnachführendes Laserinterferometer für die Koordinatenmesstechnik (Tracking Laser Interferometer for Coordinate Metrology)

  • Frank Härtig , Christian Keck , Karin Kniel , Heinrich Schwenke , Franz Wäldele and Klaus Wendt
Published/Copyright: September 25, 2009

Abstract

Die Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten (KMG) kann durch die Integration eines selbstnachführenden Laserinterferometers deutlich verbessert werden. Das in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) entwickelte Verfahren verknüpft die Koordinaten jedes gemessenen Punktes des KMG mit einer hochgenauen interferometrischen Längeninformation. Die zentrale Komponente hierbei ist das ebenfalls in der PTB entwickelte selbstnachführende Laserinterferometer. Sein konstruktiver Aufbau ermöglicht hochgenaue Abstandsmessungen im Raum. Ergebnisse aus Simulationen und Messungen verifizieren das neue Verfahren.

Abstract

The accuracy of coordinate measuring machines (CMM) can be improved considerably by integrating a tracking laser interferometer. This novel measurement approach developed by the Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) combines the three coordinates of each determined measuring point of the CMM with a highly accurate interferometric length information. The crucial component is the tracking laser interferometer which has been developed by the PTB. Its design allows to carry out highly accurate distance measurements in space. Simulation and first measurement results verify the novel approach.

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Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2004-04-01

© 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH

Downloaded on 3.10.2025 from https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1524/teme.71.4.227.30458/html?lang=en
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