Entwicklung eines Fokussensors und Integration in die Nanopositionier- und Nanomessmaschine (Development of a Focus Sensor and its Integration into the Nanopositioning and Nanomeasuring Machine)
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Rostyslav Mastylo
Abstract
Ein Fokussensor auf der Basis einer Hologramm-Laser-Unit wurde entwickelt und in einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine als Nullindikator erfolgreich getestet. Die Messungen wurden im dynamischen Modus mit permanenter Differenzbildung zwischen dem Ausgangssignal des Fokussensors und dem Längenwert des Z-Interferometers der Nanopositionier- und Nanomessmaschine durchgeführt. Die Messergebnisse und Messmöglichkeiten sind dargestellt.
Abstract
A focus sensor on the basis of a hologram laser unit was developed and successfully tested in a nanopositioning and nanomeasuring machine as null indicator. The measurements are made in the dynamic mode by permanently calculating the difference between the output signal of the focus sensor and the length value of the z-interferometer of the nanopositioning and nanomeasuring machine. The measuring results and possibilities are represented.
© 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH
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