Messung von absoluten Kugelradiustopografien mit einem Kugelinterferometer
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Zusammenfassung
Das Kugelinterferometer der PTB wurde ursprünglich dafür konzipiert, die Volumenbestimmung von sphärischen Maßverkörperungen über präzise Durchmessermessungen mit einer Unsicherheit von einem Nanometer oder weniger zu ermöglichen. Nun wurde ein Verfahren implementiert, mit dem der Verwendungszweck des Interferometers auf Bereiche erweitert werden kann, in denen nicht ein Kugelvolumen oder -durchmesser, sondern eine richtungsabhängige Radiusinformation gefragt ist. Ein Vergleich mit den Ergebnissen von unabhängigen Rundheitsmessungen zeigt eine Genauigkeit im Bereich weniger Nanometer.
Abstract
The sphere interferometer of PTB was primarily developed for the volume determination of spherical material measures by precise diameter measurements with an uncertainty of 1 nm or less. Recently, a procedure has been implemented which extends the applicability of the sphere interferometer to the reconstruction of the absolute shape of a sphere based on the measurements. A comparison of the results with those of independently conducted tactile roundmess measurements which usually yield only relative shape deviations shows an accuracy of a few nanometers.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Braunschweig, Germany
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- Absolute Profilmessung optischer Oberflächen mit Mehrfachsensorsystemen
- Radargestützte Mehrobjekt-Verfolgung mit dem PHD-Filter
- Robuste, adaptive Wireless-Sensor/Aktor-Kommunikation
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- Veranstaltungen April bis November 2011
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