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Rückführbare Koordinatenmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele (Traceable Coordinate Metrology for Microparts: Basic Principles and Examples)
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Frank Härtig
Published/Copyright:
September 25, 2009
Der Artikel beschreibt die Rückführung von Mikrobauteilen in der Koordinatenmesstechnik. Mikrobauteile sind dabei 1D- bis 3D-Objekte, die Geometrien mit Abmessungen von wenigen μm bis ca. 1 mm aufweisen. Es werden Messgeräte, Sensoren und Normale beschrieben sowie Hinweise auf zukünftige Entwicklungen gegeben.
The article deals with traceable coordinate metrology for microparts. Microparts are 1D to 3D objects with structure sizes from a few μm up to approx. 1 mm. Measurement devices, sensors, and test artefacts are described. Advices to future developments are given.
Keywords: Coordinate metrology; microparts; geometrical standards; numerical standards; computed tomography
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Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2008-05
© Oldenbourg Wissenschaftsverlag
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Keywords for this article
Coordinate metrology;
microparts;
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