Digital Holographic Microscopy for Comparative Metrology in Micro-Optics and MOEMs (Digitale holografische Mikroskopie für vergleichende Messungen von mikro-optischen Komponenten und MOEMs)
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Summary
Digital holographic microscopy (DHM) is an imaging technique, which can be applied to the visualisation and metrology of microscopic objects. It has been established in the frame of the DISCO project that DHM can be considered as an efficient method for direct comparison of the shape or deformations of two objects. “Comparison DHM” allows a straight comparison with a gauge provided by a manufacturer or customer. The phase subtraction between ideal and actual wavefront of the object provides data equivalent to those given by a Twyman–Green or a Mach–Zehnder interferometer.
Abstract
Digitale holografische Mikroskopie (DHM) ist eine abbildende Technik, die für die Sichtbarmachung und Messung von mikroskopischen Objekten verwendet werden kann. Es wurde im Rahmen des DISCO Projekts gezeigt, dass DHM eine leistungsfähige Methode für den direkten Vergleich zweier Objekte ist, bezüglich deren Formen oder Deformationen. „Vergleichs-DHM“ erlaubt einen direkten Vergleich mit einer Lehre, die von einem Hersteller oder einem Kunden zur Verfügung gestellt wird. Die Differenz der Phase des idealen zum tatsächlichen Wellenfeld des Objekts liefert gleichwertige Daten wie die eines Twyman–Green- oder Mach–Zehnder-Interferometers.
References
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© Oldenbourg Verlag
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