Neue kristalline Piezoaktoren für die industrielle Messtechnik (New Crystalline Piezo Actuators for Industrial Measurement Applications)
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Abstract
Es wurden neuartige monokristalline Piezoaktoren, die für die industrielle Messtechnik besonders gut geeignet sind, entwickelt und untersucht. Der vorliegende Beitrag zeigt, wie die Herstellungstechnologie der thermischen Domäneninversion optimiert wurde, wobei noch ein relativ großer Spielraum zur Verbesserung dieser Technologie und somit zur Steigerung der Leistungsfähigkeit der neuen Aktoren besteht. Darüber hinaus haben die Untersuchungen der Wandler folgende Eigenschaften gezeigt: hohe Linearität, extrem kleine Hysterese im Bereich von Promille der maximalen Ablenkung, Ermöglichung von Torsionsbewegungen mit hoher Bandbreite (3 kHz), sehr gute Temperaturstabilität und eine sehr große Auflösung beim Einsatz als Laserstrahlablenker.
Abstract
Novel crystalline piezo actuators especially suitable for applications in the industrial measurement techniques have been developed and investigated. In the present contribution the optimization of the fabrication technology regarding the thermal domain inversion has been described in detail and future improvements have been proposed as well. Additionally, it has been demonstrated that the novel piezo actuators show the following important features: (i) high linearity; (ii) nearly zero hysteresis; (iii) torsional mode with large bandwidth (above 3 kHz); (iv) high temperature stability and (v) extremely high resolution.
References
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© Oldenbourg Verlag
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