Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen (Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications)
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Matthias Welter
Abstract
Es wurde ein kompaktes, ultrapräzises Laserkalibriersystem aufgebaut und erfolgreich getestet. Das System besteht unter anderem aus einem neuen interferometrischen Winkel- und Längensensor und einer DSP-gestützten Signalverarbeitungseinheit. Es wird mittels Matlab gesteuert, sodass Messabläufe und Datenauswertung sehr einfach und flexibel gestaltet werden können. Mit Hilfe eines Autokollimators, eines induktiven Tasters und eines AFM konnten die Eigenschaften des Kalibriersystems erfolgreich demonstriert werden. Derzeit sind statische eindimensionale Kalibrierungen mit Schrittweiten von 20 pm bis ±6 μm sowie dynamische bei Frequenzen bis 2 kHz möglich.
Abstract
A compact calibration system has been designed and successfully tested. The system consists of an interferometric angle and length sensor as well as a DSP-based hardware signal processing system. A PC-based frontend using Matlab allows an easy setup of user-specific scripts for numerous calibration tasks.
The sensor’s and system’s capabilities have been successfully demonstrated using a high-resolution autocollimator, an AFM and an inductive tactile probe as calibration samples. Calibrations are possible with step sizes ranging from 20 pm up to ±6 μm and several waveforms for dynamic calibration at frequencies currently up to 2 kHz.
References
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© Oldenbourg Verlag
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