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September 25, 2009
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Articles in the same Issue
- Horst Kunzmann, Mitglied des Herausgeberbeirats, geht in Ruhestand
- Dimensionelle Metrologie an mikrostrukturierten Längenmaßverkörperungen – Beiträge der PTB (Dimensional Metrology on Microstructured Material Measures of Length – Contributions of the PTB)
- Hochpräzise Messungen an photoelektrischen Längenmessgeräten mit einem 120-mm-Abbe-Komparator (High-Precision Measurements of Photoelectric Linear Encoders using a 120 mm Abbe Comparator)
- Dimensionelle Metrologie mittels Rastersondenmikroskopie (Dimensional Metrology based on Scanning Probe Microscopy)
- Ultrapräzise Oberflächenbearbeitung am Beispiel von Lithografieoptiken (Ultraprecise Surface Figuring for Lithography Optics)
- Sub-nm-Topographiemessung mit hochgenauen Autokollimatoren (Sub-nm Topography Measurement using High-accuracy Autocollimators)
- Taktile dimensionelle Messtechnik für Komponenten der Mikrosystemtechnik (Dimensional Metrology for Components of Microsystem Technology)
- Automatische Bestimmung der Messunsicherheiten auf KMGs auf dem Weg in die industrielle Praxis (Automated Calculation of Measurement Uncertainties on CMMs – Towards Industrial Application)
- Prüfung großflächig mikrostrukturierter Oberflächen – Herausforderungen durch neue Produktionsverfahren (Testing of Large Area Microstructured Surfaces – Challenges through New Production Technologies)
- Sensor-Innovationspreis 2003 / Ingenieurmangel gefährdet Technologiestandort Deutschland / Modulare Mikrosystemtechnik: Markt in der Sensorik?
- Produktinformationen
- Veranstaltungen Januar–Oktober 2003
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