Measurement uncertainty consideration in the case of precision length measurement applications
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Eberhard Manske
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske is Chair of the Department of Precision Measurement at the Institute of Process Measurement and Sensor Technology and Spokesperson of the Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Technische Universität Ilmenau
Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering; Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PF 100 565, 98684 Ilmenau, Tel.: +49 3677 69 5050; Fax: +49 3677 69 5052
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Thomas Fröhlich
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Thomas Fröhlich is director of the Institute of Process Measurement and Sensor Technology and Chair of the Department Process Measurement Technology, Technische Universität Ilmenau
Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PF 100 565, 98684 Ilmenau, Tel.: +49 3677 69 1398; Fax: +49 3677 69 1412
apl. Prof. Dr.-Ing. habil. Roland Füßl, Institute of Process Measurement and Sensor Technology at the Technische Universität Ilmenau, Special fields: Digital filters, optical interference force measurement technology, metrology, nanopositioning and nanomeasuring technology
Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PF 100 565, 98684 Ilmenau, Tel.: +49 3677 69 1452; Fax: +49 3677 69 1412
Abstract
The requirements on the precision lengths measurement rises due to the rapid technical development, in particular of nanotechnologies and precision optics. According to the roadmap “Dimensional metrology for micro- and nanotechnologies” of the European National Metrology Institutes[1] in the next few years “traceable 2D (3D) metrology at (sub)-nm accuracy over several 100 mm range” will be required. Circumstantial measurement uncertainty considerations can supply a crucial contribution to realize these ambitious requirements.
Zusammenfassung
Die Anforderungen an die Präzisionslängenmessung steigen auf Grund der rasanten technischen Entwicklung, insbesondere der Nanotechnologien und Präzisionsoptik immer weiter. Entsprechend der Roadmap “Dimensional metrology for micro- and nanotechnologies” der Europäischen Nationalen Metrologieinstitute wird in den nächsten Jahren “rückführbare 2D(3D)-Metrologie mit (sub)-nm Genauigkeit über einige 100 mm Messbereich” erforderlich. Detaillierte Messunsicherheitsbetrachtungen können einen entscheidenden Beitrag zur Realisierung dieser ambitionierten Anforderungen leisten.
About the authors
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske is Chair of the Department of Precision Measurement at the Institute of Process Measurement and Sensor Technology and Spokesperson of the Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Technische Universität Ilmenau
Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering; Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PF 100 565, 98684 Ilmenau, Tel.: +49 3677 69 5050; Fax: +49 3677 69 5052
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Thomas Fröhlich is director of the Institute of Process Measurement and Sensor Technology and Chair of the Department Process Measurement Technology, Technische Universität Ilmenau
Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PF 100 565, 98684 Ilmenau, Tel.: +49 3677 69 1398; Fax: +49 3677 69 1412
apl. Prof. Dr.-Ing. habil. Roland Füßl, Institute of Process Measurement and Sensor Technology at the Technische Universität Ilmenau, Special fields: Digital filters, optical interference force measurement technology, metrology, nanopositioning and nanomeasuring technology
Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PF 100 565, 98684 Ilmenau, Tel.: +49 3677 69 1452; Fax: +49 3677 69 1412
©2016 Walter de Gruyter Berlin/Boston
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