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Schichtwachstum von dielektrisch wirksamen Aluminium- und Tantal-Oxidschichten
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Erwin Effenberger
Published/Copyright:
April 20, 2021
Published Online: 2021-04-20
Published in Print: 1973-01-01
© 2021 by Walter de Gruyter Berlin/Boston
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- Schichtwachstum von dielektrisch wirksamen Aluminium- und Tantal-Oxidschichten
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- Ein Verfahren zur Bestimmung thermodynamischer Aktivitäten in α-Mischkristallen
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