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Neue Erkenntnisse zum Plasmaborieren mit Trimethylborat

Teil 1: Einfluss der Verfahrensparameter auf das Boridschichtwachstum
  • A. Küper , H.-R. Stock and P. Mayr
Published/Copyright: November 2, 2023

Online erschienen: 2023-11-02
Erschienen im Druck: 2000-12-01

© 2023 by Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 11.10.2025 from https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1515/htm-2000-550608/html
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