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Plasmaborieren in einer BCl3-H2-Ar-Atmosphäre

Anwendung auf hochverschleißbeanspruchte Bauteile
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Published/Copyright: April 17, 2021

Online erschienen: 2021-04-17
Erschienen im Druck: 1999-03-01

© 2021 by Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 23.4.2026 from https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1515/htm-1999-540214/html?lang=en
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