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Teilcheneinfall und Schichtwachstum beim Hochratesputtern von Titannitrid

  • A. Neidhardt , U. Reinhold , E. Schröter , M. Puff , D. Stemmler and H. Wuttke
Published/Copyright: April 17, 2021

Online erschienen: 2021-04-17
Erschienen im Druck: 1991-01-01

© 2021 by Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 28.10.2025 from https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1515/htm-1991-460118/html
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