Startseite The Modeling of the Radiation Enhanced Diffusion of Boron in Silicon
Artikel Open Access

The Modeling of the Radiation Enhanced Diffusion of Boron in Silicon

  • G.V. Gadiyak, , G.A. Kachurin, , V.I. Shatrov, und I.E. Tyshchenko,
Veröffentlicht/Copyright: 1. Juni 1994
Veröffentlichen auch Sie bei De Gruyter Brill

Published Online: 1994-06

©2011 by Walter de Gruyter GmbH & Co.

Heruntergeladen am 17.9.2025 von https://www.degruyterbrill.com/document/doi/10.1515/JMBM.1994.5.3.307/html
Button zum nach oben scrollen