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RF Matching of a Reactive Ion Etching (RIE) Plasma Reactor
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Roland Gesche,
Published/Copyright:
April 1, 2005
Published Online: 2005-04-01
©2011 by Walter de Gruyter GmbH & Co.
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Articles in the same Issue
- Vorwort
- Superluminal Photonic Tunneling in Inhomogeneous Waveguides
- Numerical Field Simulation Used to Develop High Bit-Rate Coaxial-to-CPW-Interconnects
- Quasi-Mode-Matching Technique for Unbounded Waveguide Discontinuities
- Berechnung der Resonanzfrequenzen von Leiterplattenkondensatoren mit Hilfe der Orthogonalreihenentwicklung
- RF Matching of a Reactive Ion Etching (RIE) Plasma Reactor
- Planar Antennas with Photovoltaic Solar Cells for Mobile Communications
- Berechnung des Antennenfernfelddiagramms aus an zwei Zylindern gemessenen Nahfeldamplituden (Methode der Phasenrückgewinnung)
- Anwendung des Differenzenverfahrens zur Bestimmung kleiner Kapazitätsänderungen – Ein Rückblick
- Untersuchung und Berechnung der Zuverlässigkeit von verteilten Netzwerkstrukturen
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